超音波スプレーNPZZLE技術を用いたスプレーパイロリシス
超音波噴霧熱分解は、ナノ粒子形成からサイストラスタイン薄膜堆積への幅広い用途に使用されている。 超音波溶射熱分解法は、銀、リチウムマンガン酸化物、硫化亜鉛（ZnS）、酸化鉛（PbO）、二酸化ジルコニウム（ZrO2）およびイットリア - 安定化ジルコニア（YSZ）セラミックスのナノ粒子の形成に用いられてきた。 さらに、超音波噴霧熱分解は、太陽光産業において一般的なITO（indium tin oxide）、ZnO（zinc oxide）、AZO（zinc oxide）、およびfluoro oxideなどの透明導電性酸化物層の形成に使用されている。
スプレー熱分解に使用される超音波スプレーノズル技術は、化学揮発性蒸着（CVD）、真空蒸着、スパッタリングの代わりに、品質を犠牲にすることなく実行可能な金銭の節約である。 超音波スプレー熱分解の主な利点は次のとおりです。
・ 薄膜形成における高い転写効率によるコスト効果の高い方法。
・ 複雑な形状の基材にスプレーコーティングすることができます。
・ 超音波噴霧熱分解によって堆積した膜は再現性がある。
・ 非常に均一なナノ粒子サイズの形成。
・ 目詰まりのないノズルと丈夫なデザイン。
加熱された基板は、典型的には300〜500℃であり、この環境は従来の超音波技術の内部動作を損なう可能性がある。 我々は、 典型的に超音波ノズルの本体を熱から隔離または緩衝しながら、超音波チップを反応チャンバに挿入することを可能にする拡張可能な先端を有する 高温超音波スプレーノズル を提供する 。 取り外し可能なチップは、超音波システム全体を交換することなく交換して新しいチップに交換することができます。 これは、超音波ノズルが典型的には届きにくい領域に取り付けられるので、多くの超音波噴霧熱分解設計にとって有利である。
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